二手 SPEEDFAM BT64 #9289258 待售

SPEEDFAM BT64是一種多用途晶片研磨、研磨和拋光設備,能夠處理幾乎任何類型的晶片,直徑不超過200 mm,厚度不超過0.2mm。該系統提供了一種低成本但高效的解決方案，用於處理各種類型的晶片，包括矽、III-V化合物和陶瓷。BT64采用數控研磨和研磨頭。此磁頭由步進電機提供動力,並利用氣動驅動的臂來提升和降低研磨/研磨輪。此外，車頭還加入了編碼器，以精確調節紡車的速度。磁頭還具有安裝在研磨/研磨輪上方的可調氣墊，方便快速高效的晶圓處理。SPEEDFAM BT64還具有可編程晶圓映射表。此單元允許用戶快速輸入諸如晶圓數、晶圓尺寸和所需最終產品規格等參數。然後,機器將自動計算成功拋光和研磨所需的通路次數、間隙設置、晶圓速度和其他必要參數。該工具配有兩個磨削/研磨操作的拋光盤和一個拋光操作的拋光盤。拋光盤可以容納不同等級的拋光墊，有各種尺寸和材料可供選擇，以滿足各種晶圓類型的需求。對於研磨操作，用水潤滑來減少晶片上的摩擦，避免產生任何靜電。此外，BT64還配備了真空資產。該模型有助於去除設備中的磨削和拋光介質以及晶圓碎片。它還有助於保持研磨/研磨和拋光操作的清潔環境。SPEEDFAM BT64能夠在晶片上實現超光滑的表面,並在晶片的整個表面積上實現高度均勻的厚度。這使得它特別適合制造高性能半導體器件。此外，BT64的設計符合嚴格的環境標準，能夠長時間以自動化方式運行，使其成為晶圓研磨、研磨和拋光的高效和經濟高效的解決方案。