二手 SPEEDFAM CMP-V #9300427 待售

SPEEDFAM CMP-V
ID: 9300427
晶圓大小: 6"
CMP Polishers, 6".
SPEEDFAM CMP-V是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於半導體晶圓表面的高精度加工。這是一個具有先進技術特點的綜合系統,能夠對晶圓上的平面和深溝進行高精度加工和加工,精度不到一微米。用於半導體和微電子元件的制造和生產。CMP-V是一個全自動單元,可以同時運行批處理和單晶片。它包括一個橋和傾斜臺的機器來定位晶片研磨,研磨和拋光。橋和傾斜臺工具可以調整,以適應各種晶圓尺寸和厚度。采用先進的控制算法,對磨削、研磨和拋光過程進行連續監測和調整。該模型還采用無刷直流電機驅動的高精度空氣軸承主軸,用於晶圓表面的研磨、研磨和拋光。它包括一個手動調節的磨漿進料設備來控制研磨和研磨過程的速度,以及一個可調節的研磨速度控制來優化該過程。該系統有一個先進的冷卻劑單元,具有可編程的冷卻時間,以確保在研磨和研磨過程中的最佳冷卻。它還具有內置的冷卻劑過濾機,它可以過濾冷卻劑中的任何汙染物,並保持刀具的最佳運行。為了安全起見,資產包括外部電源開關、冷卻劑壓力開關、緊急停止按鈕以及允許遠程監視模型的RS485接口。SPEEDFAM CMP-V提供晶圓表面和高質量表面飾面的精密加工,在一微米內可重復性。它是用於半導體元件制造和生產的理想選擇。
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