二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L-III #9222184 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L-III是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於半導體元件的制造,其特性旨在提高吞吐量和精度。配有內徑16英寸（500毫米）兩軸精密磨削面，5軸插值計算機數控精度。SPEEDFAM DSM16B-5L-III利用高速主軸和CNC空氣伺服驅動旋轉臺實現2.5µm的研磨精度，以及8µm的連續研磨設施和0.1µm的拋光操作。DSM 16B-5L-III配備了一整套標準研磨、研磨拋光工具及配件，包括多個金剛石研磨輪、光學拋光底板、剛性旋轉喬木和多個可用於精確表面研磨操作的不同金剛石壓縮機。該機還設有用於精確調整研磨參數的專用儀表、用於提高安全性的透明蓋以及用於收集灰塵和碎屑的可調真空系統。其易於編程的數控單元用於控制機器的運行，操作員可以調節表面速度、進給速率、工作壓力等參數。該機采用軟件控制的振蕩臺設計，提高了磨削、研磨和拋光過程中的重復性和精度。DSM16B-5L-III也可用於各種圓形、方形和平面的精確研磨。它還配備了一個綜合衛生工具和一個綜合水冷設備，可確保達到預期的表面光潔度，而不會造成堵塞或汙染的風險。所有這些功能使SPEEDFAM DSM 16B-5L-III晶圓研磨、研磨和拋光工藝的絕佳工具。其靈活的模型使其適合大批量生產，以及單工件操作。此設備為各種制造需求提供了強大且經濟高效的解決方案。