二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235617 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L是一種晶片研磨、研磨、拋光設備，旨在提供一定程度的自動化、精確度和多功能性，以擴大矽片生產線的生產能力。該系統能夠在6英寸（150毫米）和8英寸（200毫米）晶片上執行光柵、研磨和拋光（GLP）操作,非常適合生產要求高度精確和均勻的矽表面的最新設備。這一單元利用最先進的CNC（計算機化數控）技術，精確控制用於物料去除的磨料路徑，允許極其精確的研磨和拋光操作。組成研磨頭的區段可以單獨控制，具有執行筆直和螺旋研磨模式的能力。這允許用戶根據所需的表面粗糙度和成品的均勻度來定制研磨圖案。這些段也可以互鎖以允許同時研磨和拋光操作。DSM 16B-5L旨在提供全拆卸率、單輪速度、拋光力等過程控制參數。本機還提供噴水、推力壓力、潤滑油輸送等多種參數，確保了長期過程的可重復性和一致性。該機還配備了運動控制工具，在高速研磨和拋光操作中提供對溫度、振動和表面粗糙度的固有控制。該資產旨在方便地與現有晶圓生產線集成,提供直觀的圖形用戶界面,從而減少操作員培訓時間,並允許輕松優化各種流程設置。該模型還具有許多工具和功能,使用戶能夠確定每個過程步驟的有效性,包括自動過程控制、自動配方設置、過程結束質量檢查以及對表面光潔度的實時監控。這些功能有助於確保高質量和一致的生產結果。SPEEDFAM DSM 16B-5L是一種高度通用和堅固的設備,可滿足當今晶圓研磨、研磨和拋光操作的苛刻要求。其精確、用戶友好的設計使其成為精密矽片生產的理想選擇。