二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235618 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L是一種功能強大、精密的晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於半導體、微電子、光學等行業。適用於矽、藍寶石等材料平面表面的精光拋光，使其成為用途廣泛、用途廣泛的系統。DSM 16B-5L由一個主平臺和晶片盒、壓力單元、主軸和振動組件等幾個模塊化組件組成。主平臺是機器的底座，堅固得令人難以置信。它由工業級、焊鋼框架和板材工具組成，為長期耐用而設計。主平臺可以配置一個或兩個主軸和振動。晶片卡帶資產包括一個將晶片裝入模型的卡帶托盤、一個真空源、一個提升機構和一個晶片轉運站。壓力設備在工作時對晶片施加精確的均勻壓力。由高扭矩、三相電動機和0.1MPa精度的控制系統提供動力。壓力單元還有一個溫度監測和控制機器，用於微調施加在每個晶片上的壓力。主軸和振動組件由高性能電機、耐用軸承、頻率響應到5MHz以及最先進的減振工具組成。它能夠處理高扭矩材料去除和精細研磨和拋光操作。SPEEDFAM DSM 16B-5L為晶圓表面提供光滑、精確的飾面,並能夠在半導體行業標準要求的範圍內控制表面粗糙度。它還提供了各種各樣的宏設定，例如可以調整壓力、速度和振動設置，為不同類型的晶圓材料定制研磨和拋光工藝。這種靈活性使其成為各種應用程序的理想選擇。