二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235706 待售

ID: 9235706
Lappers / Polishers ATC Load cell PLC Control Touch screen Lower plate drive: 7.5 kW Upper plate driver: 7.5 kW Ring gear driver: 2.2 kW Sun gear driver: 1.5 kW Power supply: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase 2010-2011 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5L是一種創新的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足高產半導體制造行業的嚴格要求。這臺多功能機器非常適合研磨、研磨和拋光多種材料,包括單晶矽、藍寶石和銅等。該系統由磨頭和研磨/拋光頭兩個主要部件組成。磨頭由兩個固定的主軸組成,可設置為以不同的磨輪速度工作,以獲得最佳效果。研磨/拋光頭由兩個電動級組成。第一階段為粗磨研磨設計,達到均勻的表面光潔度,第二階段為精磨拋光。DSM 16B-5L具有多項創新功能,旨在使操作直觀易行。可編程控制單元允許用戶選擇不同的研磨或拋光參數。機器可以用不同的車輪速度、旋轉速度、註入速率和壓力設置進行編程。此外,該機還具有自動補償車輪磨損的主軸環和各種安全聯鎖裝置。SPEEDFAM DSM 16B-5L還旨在通過自我診斷軟件和定期維護診斷報告方便維護。此外,工具的組件是模塊化的,允許用戶根據需要添加或刪除組件。最後,該資產與各種晶圓和基材尺寸兼容。DSM 16B-5L是一種可靠、通用的研磨、研磨和拋光模型,可提供最佳效果和易於操作。憑借其創新的特點,這臺機器非常適合高產半導體制造,讓用戶能夠快速準確地生產出表面均勻的半導體晶片和基板。
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