二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9275877 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L是一種晶圓研磨、研磨和拋光機,旨在提供全面、多功能和可靠的工藝解決方案。這種晶圓研磨、研磨和拋光設備設計用於執行微電子器件制造過程中的所有關鍵步驟，並且可以很容易地進行定制，以符合任何需要研磨、研磨和拋光的器件的要求。DSM 16B-5L配備晶圓研磨站、晶圓研磨站、晶圓拋光站和采摘站。系統的晶圓研磨站能夠以高達6,000 rpm的速度研磨和/或預磨,並由直流電動機提供動力以進行精確控制。該單元還包括一對直線級的精確空氣軸承和一個電動主軸，以確保精確、可重復和穩定的研磨。此外，該機還配備了真空卡盤，可提供穩定可靠的晶圓傳遞工具。SPEEDFAM DSM 16B-5L晶圓研磨站還配備了直流電機控制裝置以及精確的空氣軸承和直線級，用於研磨過程的精確控制。資產還包括一系列拋光介質，如金剛石漿料、二氧化矽漿料、陶瓷漿料，可用於實現可重復、精確的效果。該型號的晶圓拋光站提供了一種高效且可重復的表面拋光工藝，並提供了許多不同的拋光頭。該站的電動主軸可提供高達7000 rpm的轉速，輸出流暢穩定。此外，它還配有一對精密的空氣軸承，配有夾具，用於安全和穩定的拋光過程。最後,設備中包含的拾取和放置工作站使其能夠自動抓取和插入多達34個具有靈活處理能力的晶片。它配備了多個精密運動軸、真空工作臺操縱器、直流電機和小型閥門，可以進行可重復和精確的晶圓處理。總體而言,DSM 16B-5L提供了一種全面可靠的晶圓研磨、研磨和拋光解決方案.為滿足最嚴格的微電子器件制造任務的要求，設計不懈地、始終如一地提供優越的工藝性能。