二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9276479 待售
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單擊可縮放
ID: 9276479
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 2011
Double side polisher, 4"-6"
Maximum down force: 500 Kg
Down force range: 0-500 Kg
Upper ring assembly weight: 530 Kg
Plate dimension:
Lapping: φ1125 x φ393 x 50 t
Polishing: φ1154 x φ364 x 50 t
Lower plate RPM: 15 to 60 RPM, 50/60 Hz
Main cylinder: φ160
Upper and lower plate driver motor: 7.5 kW
Ring gear drive motor: 2.2 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear Up / Down motor: 0.4 kW
Options:
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.18 kW
Breaker capacity: 75 Amps
Air supply: 6 Kg/cm²
(5) Carriers
Carrier:
M: 3
Z: 142
Ring gear:
M: 3
Z: 395
Sun gear:
M: 3
Z: 110
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz, 19.68 kW
Power supply: 220 V, 3 Phase, 60 Cycles
2011 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5L是一種現代化的晶圓研磨、研磨、拋光設備，利用成熟可靠的研磨技術，在盡可能短的時間內實現優越的表面光潔度。這個多功能單元由一個單電機驅動的磨輪和五個獨立的研磨和拋光模塊組成。第一個模塊是一個研磨系統，具有一組集成的研磨介質，可以與松散磨料或泥漿磨料一起使用，而第二個模塊是一個單獨的研磨輪，用於軟硬材料的精加工操作。第三和第四模塊都在進行拋光過程，包括玻璃和金剛石拋光操作。此外,第五個模塊專用於與特殊壓力源配合使用,以實現特定的表面飾面。DSM 16B-5L還包括一個自動裝卸單元，允許用戶最小化設置時間，最大化操作效率。此外，這臺機器還配備了先進的計算機化數控（CNC）工具，為任意數量的部件提供極其精確的生產能力。操作員可以為每個要處理的組件編程各種參數，資產將自動註冊所需的進程參數。該設備還提供了研磨介質和磨料的完整功能。它包括閉環冷卻模型、可調噴水噴嘴和除塵設備，有助於最大限度地減少碎屑在磨削介質上的堆積，確保磨削作業的最佳效率。SPEEDFAM DSM 16B-5L易於維護,並且由於其自動化操作而很少需要操作員監督。它有一個較小的腳印比競爭模型，是非常經濟劃算。此外，精密電動機提供非常低的振動和噪聲水平。總體而言,DSM 16B-5L是任何制造環境的最佳選擇。利用它的自動化操作和精確的結果，可以依靠它來提供更高的精確度和可重復性的表面飾面。
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