二手 SPEEDFAM DSM 16B-5P-V #9148494 待售

  • 圖為 已使用的 SPEEDFAM DSM 16B-5P-V 待售
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圖為 已使用的 SPEEDFAM DSM 16B-5P-V 待售
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晶圓輪磨,研磨及拋光
製造商
SPEEDFAM
模型
DSM 16B-5P-V
ID: 9148494
優質的: 2003
Double side polisher Process: CMP Capacity(4" Wafer): 4” 40, 6” 20 pcs Carrier: M3 x Z142 x 5Piece Upper platen: Φ1154 x Φ364 Lower platen: Φ1154 x Φ364 Plate thickness: Upper 50mm, lower 50mm Rotation speed Lower plate 10~60min-¹ Ring gear 5~30min-¹ Sun gear 5~30min-¹ Gease pump: Lube GAS-16-40 Speed controller: SMC AS205IF-06N Air cylinder: SMC CM2C25-25 Check V/V: SMC AK-4000-02 Pressure switch: CKD P4000-8-IS17 Control panel: 067V103-99 Power unit: A1S61PN Sequencer CPU: Q2A2CPU Inverter (2) FR-A520-15K FR-A520-1.2K Speed meter: MITSUBISHI A500 Noise filter: TDIC ZMB2203-11 Load cell: TEAC TC-10F Air Supply: 0.55~0.6Mpa 60NL/min-¹ ￠3/8Tube Water Supply: 0.15Mpa 20L/min￠12 Tube Drain: Φ89 200V, 3P 50/60Hz 2003 vintage.
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SPEEDFAM DSM 16B-5P-V晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種最先進的系統,旨在高效研磨、研磨和拋光各種基材和晶圓。利用變速4軸數控平臺提供精確、精密的研磨參數，生產出質量較高的晶片。DSM 16B-5P-V是一個16英寸的平臺，設計精確和精確研磨，膝蓋和拋光各種晶圓。它具有五個獨立可控的壓板、一個高壓研磨架、一個高壓腔室和一個集成的空氣軸承主軸，使它能夠同時研磨、拉圈和拋光多達五個晶片。該裝置能夠以高達400 rpm的速度研磨、研磨和拋光高達500 um的超細金剛石磨料顆粒。該機還可以接受各種其他磨料基板的精細和粗糙的飾面。刀具的變速電動機確保磨削、研磨和拋光過程始終準確、精確。SPEEDFAM DSM 16B-5P-V設計用於在包括溫度、濕度和振動在內的一系列條件下運行,並且可以進行校準以滿足最苛刻的應用。它還得益於多個安全機械系統,包括多點安全聯鎖資產和自動生產模式,以確保隨著時間推移獲得最高精度和一致的高質量結果。DSM 16B-5P-V還采用了最先進的計算機化診斷技術來提供模型性能的詳細分析。診斷設備能夠確定發生任何錯誤或故障的原因,並可以提醒操作員註意系統維護問題。這有助於確保產品以最高效率運行,同時有助於防止昂貴的維修或停機。該單元還向操作員提供實時反饋，使他們能夠監控研磨和拋光操作的進度。綜上所述,SPEEDFAM DSM 16B-5P-V是一種先進、精密的研磨、研磨和拋光機.它使各種基材和晶片的加工比常規方法和機械通常更精細。這樣可以確保成品是各種應用程序的最高標準。
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