二手 SPEEDFAM DSM 6B-6L #149749 待售

SPEEDFAM DSM 6B-6L是用於半導體和MEMS行業的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統由一個裝有三個獨立進程主軸的數控框架組成，每個主軸都有一個單獨的驅動器單元，允許在不同階段最多三個進程同時運行。它還有幾個微磨料射流研磨（MAJL）噴嘴，用來精確砂粒和塑造晶圓表面。它還有兩個激光掃描儀，用於在研磨過程中掃描晶片，從而可以精確控制晶片的表面輪廓。該裝置能夠以極高的精度和極低的粗糙度生產晶片，並能容納150毫米至300毫米的晶片直徑。該機由高性能矢量控制伺服電機和驅動程序提供動力，這些驅動程序可提供高精度和可重復性。它也是高效率的，周期時間短，由於熱身時間短而對環境影響小。該工具包括一個自動晶片庫存處理資產，使晶片能夠快速、安全地加載、卸載和傳輸，並以最小的努力。該型號具有壓力傳感器、安全聯鎖開關等幾個安全特點，有助於確保工人安全，降低工區發生事故的風險。該設備具有高精度和重復性，能夠高精度地生產晶片，即使在大批量上也是如此。適用於可重復的超扁平晶片研磨、研磨、拋光工藝，能夠產生極細公差0.1微米或以下的晶片。該系統非常堅固,提供卓越的過程控制和可靠的操作.它還具有用戶友好的圖形用戶界面,允許用戶快速、輕松地設置和監視流程。總體而言,DSM 6B-6L是一種出色的晶圓研磨、研磨和拋光設備,可提供卓越的性能、高精度和可靠的操作。它是晶片生產的理想選擇，精度高，表面質量好，易於設置和維護。