二手 SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll #9224691 待售

SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll是一種晶片研磨、研磨和拋光設備,設計用於在多種材料中對晶片進行高級精密表面精加工和表征。該系統提供了高水平的表面粗糙度和精確度，提供了高水平的表面均勻度、表面光潔度和微觀結構。該設備集成了多種技術，可實現高達300毫米矽和復合半導體晶片或更大晶片的卓越研磨、研磨和拋光能力。機器本身由研磨、研磨、拋光主軸、兩層單臂裝載機、三軸檢流計光學掃描工具、先進的高頻逆變器控制器和一系列軟件組成。主軸由兩個研磨輪和一個可調節轉速範圍為500-3000 RPM的拋光輪組成，這使得多種晶圓的研磨和研磨都可以實現精確的表面光潔度。裝載機可容納兩個晶片；當一個被處理時，另一個被準備加載。光學掃描資產跟蹤和補償晶片形狀或表面缺陷,以確保一致、高精度的研磨、研磨和拋光。先進的高頻逆變器控制主軸功率，以保證表面光潔度質量和均勻性，最大限度地減少應力和振動。DSM 9B-10P-lll模型的軟件組件提供了一個直觀的用戶界面，以簡化設備的日常運行。它具有實時檢查和分析功能、自動過程中和過程後測量、高級過程控制算法、3D映射功能以及故障診斷系統。此外,還可以將系統與自動加載和卸載模塊、流程自動化系統以及定制的軟件應用程序集成在一起。總體而言,SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll被設置為將晶圓表面精加工技術提升到下一個級別的強大工具。它的高級功能、多功能功能和直觀的用戶界面使其非常適合研究和工業運營的需要。