二手 SPEEDFAM DSM 9B-5DPG #9233198 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5DPG是為各種應用而設計的行星晶圓研磨、研磨和拋光設備。這套全自動系統采用單端主軸電機,可對直徑不超過6英寸的半導體晶片進行精確的表面研磨、研磨和拋光。該單元允許其專利機械設計的高精度，低缺陷晶片處理。它采用懸臂式單端主軸電機,安裝在Hi-Mach Exchange臺上,以確保平穩、精確的運行。這種獨特的兩軸機器的緊湊設計使晶圓容量更大,同時占用的空間最小。刀具還具有集成的兩軸線性提升組件,行程範圍可達400mm。該資產直觀、易於使用的觸摸屏界面為用戶提供了對各種高級參數的簡單控制,包括砂礫進給速率、主軸速度、servoi-axes運動速度、起始位置、停留時間和刀具壓力。它還配備了SPEEDFAM專利光學定位器（OPA），優化了研磨和拋光工藝的精度。綜合性能包包括一個模具附著站、研磨站、可選的拋光臺和一個單獨的模具附著膠應用臺。模具連接站支持手動操作,並且研磨站可以使用手動或自動形式的研磨介質和工藝參數進行操作。該模型還能夠從手動到自動「重新加工」，以實現更高效、更高效的研磨和拋光工藝。該設備還具有全面的精度、性能和安全套件，確保了高度可靠的操作和最大的安全性。該系統包括X、Y軸溫度控制、每個模具接頭的整體工作燈和研磨站,以確保操作員的安全、全面過載保護以及將任何零件與環境的潛在汙染隔離。DSM 9B-5DPG是一種全自動晶片研磨、研磨和拋光裝置,通過獲得專利的機械設計和直觀、用戶友好的觸摸屏界面,確保高精度、低缺陷晶片處理。該機具有全面的精度和安全特性，可確保晶圓研磨、研磨和拋光的光滑可靠，適用於各種應用。