二手 SPEEDFAM DSM 9B-5L #9243835 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5L是一種用於晶圓研磨、研磨和拋光的最先進的工具。該設備旨在提供最大效率、質量和可重復性。它由一個執行研磨、研磨和拋光操作的主單元和一個用於鉆石拋光的SUPER DRESSER模塊組成。DSM 9B-5L的主平臺被劃分為每個操作的區域：wi-fi研磨高達5.1 µm，拋光高達0.1 µm，研磨高達1.2 µm。平臺采用不銹鋼框架和鋁板覆蓋層構成。每個區域都配有陶瓷密封件，提供受控的研磨壓力，以提高通量和降低氣體泄漏。將UNIT封裝在絕緣室內,以最大程度地減少噪音和環境影響。許多研磨和拋光操作都是自動化的。采用3軸直線伺服系統的倒置氣動研磨/拋光臂可在可調力的情況下確保更快、更高的精度。SUPER DRESSER模塊是一個集成單元，提供精密和快速金剛石拋光。它搭載了最新的金剛石拋光技術，使其具有高達15,000 rpm的高旋轉塗層速度。金剛石拋光板的設計也能提供極佳的拋光效果，對晶片的傷害最小。此外，它還具有低溫操作特性，能夠對細膩的材料進行安全無損的拋光。SPEEDFAM DSM 9B-5L配備了觸摸屏控制面板，用於手動調整時間、壓力和溫度，從而可以精確控制整個單元。它還具有先進的數據管理功能,包括操作記錄、過程歷史記錄和警報歷史記錄,有助於保持最佳性能。這種晶圓研磨、研磨和拋光機也符合潔凈室等級10的標準，並提供性能和安全認證，如CE和ISO。總體而言,DSM 9B-5L是晶圓研磨、研磨和拋光的絕佳選擇.此高級工具能夠實現高精度和高效的吞吐量,同時提供最高質量的結果。