二手 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166339 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,具有提高產量、成本效率和周期時間的雙重處理能力。這套系統是專門為加工矽、砷化氙、的陶瓷和其他基板而設計的，以創造復雜的裝置特征。該裝置采用高速旋轉盤，以高精度研磨和膝蓋矽基板的表面。此外，DSM 9B-5P-V包括行星拋光頭拋光基板所需的表面光潔度。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V機利用兩個獨立主軸的組合，一次處理多達兩個晶圓。此配置減少了循環時間,並提高了加工復雜基板時的產量和成本效率。每個主軸采用獨立控制的主軸驅動電機和高度耐磨的主軸盤，以便進行高效、精確的研磨和研磨操作。行星拋光頭由高度可控和可調節的壓力頭、多個行星級和浮動端效應器組成，以提高拋光精度。DSM 9B-5P-V具有可編程控制器和圖形用戶界面,用於簡單直觀的操作。該工具設計有氣動驅動的穿梭裝載機，可容納8英寸以下的晶圓尺寸，以及用於精確基板放置的重型索引器。此外,該資產還具有板載配方存儲和再生制動功能,可提高循環時間和安全性。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V配備了一個超高效的除塵模型，在加工操作過程中清除小顆粒。該設備還采用了業界領先的過濾系統，以維持安全和無汙染物的工作環境。此外,DSM 9B-5P-V的設計符合所有適用的安全指令和排放標準,並包括一整套安全功能。最後,SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光裝置,在加工復雜基板時提供卓越的精度和性能。該機融合了雙主軸、可編程控制器和用戶界面、氣動驅動的穿梭裝載機、除塵工具，以及提高產量、成本效益和循環時間的各種安全特性。