二手 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166340 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是為半導體應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該機器采用高精度和高質量的部件，以確保加工晶片的可重復性和一致性。該系統具有沿X、Y、Z、A和B軸移動的5軸運動平臺。這使得磨削和拋光頭的精確和可重復定位具有微米級精度。平臺還有一個符合人體工程學的夾具，用於在研磨或拋光時牢固地握住和操縱晶片。磨削、研磨和拋光頭由強大的高速電機主軸驅動。紡錘的速度調節，以防止頭部過度勞累的基板和損壞晶片。特殊的附著夾具用於正確地將每種類型的工具固定在磁頭上--金剛石磨輪、油潤滑、風冷研磨箔和拋光墊。DSM 9B-5P-V有一個內置的自動晶片進給單元，它提供了一個在機器和操作員或外部晶片處理程序之間傳輸晶片的安全機制。自動進料機在處理大量晶片時也將用戶接觸降至最低，減少汙染。該工具提供了一個可調空氣真空資產與脈沖回沖洗設計，以消除任何磨削或拋光碎片在處理過程中產生。該模型還帶有一個集成的主軸冷卻單元，以精確調節研磨和研磨主軸的溫度。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V是一種先進高效的半導體晶片研磨、研磨和拋光設備。它采用高精度、高質量的元件構成，並具有自動晶圓進紙器、可調真空系統、集成主軸冷卻單元等幾個使工藝更容易、更安全的元件。