二手 SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42 #9073040 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42是為半導體工業設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統能夠對厚度不超過5毫米的晶片進行精密加工。該單元設計用於精確進行研磨、研磨和拋光操作，而不會損壞晶圓切削刃和薄膜。本機由儀表底座、變速電機、變頻傳動、磨砂帶、橡膠研磨墊、研磨膏、拋光墊組成。儀表基座由剛性鋼架組成，構造有抗震部件，設計目的是將熱膨脹降至最低。以最大轉速4000 rpm、頻率10 Hz的變速電動機來驅動磨料帶。變頻驅動器用於控制電機的速度和方向，並提供計算機控制的操作。磨料帶由柔性材料構成，設計目的是在不損壞晶片的情況下去除晶片中多余的材料。軟橡膠研磨墊用於進一步磨蝕晶片表面，並為拋光做準備。研磨膏用於創建光滑的表面光潔度並增強表面的清晰度。最後使用拋光墊使晶片表面達到鏡面光潔度。DSM 9B-5SSG-42工具能夠達到最大表面平整度和平滑度分別為5和2微英寸（µm）。與手動替代方法相比,此資產能夠在很小的時間內完成表面準備過程。此外,計算機控制的操作確保了一致的結果,並且可以輕松校準模型,以適應晶圓組成或工藝參數的任何變化。因此，SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42是半導體工業中高精度晶圓制備的理想解決方案。