二手 SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-IV #197149 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-IV是一種晶片研磨、研磨和拋光系統，能夠在用於生產半導體器件的晶片上產生極其精確和平坦的表面。該系統旨在實現半導體器件生產中盡可能高的可重復性水平。DSM 9B-5SSG-IV具有多個組件,使其能夠實現如此高的可重復性。這些部件包括金剛石鍍層磨輪、黃銅粘結金剛石研磨板和拋光輪。金剛石鍍層砂輪的設計是為了在晶圓上產生最精確的表面光潔度。它由一臺3 HP主軸電機提供動力,轉速高達15,000 RPM。黃銅粘合的金剛石研磨板用於為晶片提供均勻的光潔度。這塊板也可以用來調節晶圓的厚度。最後，利用拋光輪使晶圓表面得到光潔度，進一步降低表面粗糙度。該車輪由2 HP, 120 V/60Hz馬達提供動力。SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-IV還具有許多控制功能,使其能夠實現如此高的可重復性。這些特性包括真空調平和保持裝置、每個研磨壓力控制的負載和晶圓厚度均勻性檢查器。真空調平和保持裝置允許在研磨過程之前對晶片進行一致的調平。每個研磨壓力控制的載荷通過控制研磨時施加在晶片上的壓力量，有助於保持晶片表面均勻平整。最後，晶圓厚度均勻性檢查器確保晶圓在其整個長度上具有一致的厚度。DSM 9B-5SSG-IV是任何需要高精度、重復性和準確性的制造商的完美解決方案。該系統能夠提供最高質量水平，同時降低與半導體器件生產相關的成本。金剛石鍍層磨輪、黃銅粘合金剛石研磨板和拋光輪的組合，確保用戶從其晶片中獲得最精確、最平坦的表面。