二手 SPEEDFAM DSM10.5B-5PV #9222206 待售

SPEEDFAM DSM10.5B-5PV是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為高容量、精密的微細加工應用而設計。該系統提供了高精度、超穩定的研磨和研磨能力,為各種基板提供了最佳的表面光潔度。該單元具有10×5晶圓磨輪、五個主軸頭和五個可分離拋光頭全部安裝在基臺上。每個主軸采用用戶可調節的轉速和車輪轉速的自動平衡來獨立操作。所有五個主軸頭都可以同時控制，允許晶片同時研磨和研磨。五個可分離的拋光頭配有自動處理的傳感器，以及保持研磨區域清潔的吸塵器。機器還包括一個除塵工具，以保持研磨和拋光區域無磨料顆粒。SPEEDFAM DSM10.5B-5PV能夠在5微米以內產生均勻的表面光潔度和平整度,同時提供高速度的材料去除和均勻的晶圓厚度。該資產采用金剛石、CBN或氧化鋁磨料磨輪，非常適合加工矽、藍寶石等多種材料。為確保可重復性和準確性，SPEEDFAM配備了溫度傳感器、真空淋浴和助推器，以及防塵面罩、安全燈簾和無火花無刷電機等安全功能。此外，該模型還具有自動保護設備，可防止在操作過程中損壞設備和砂輪。另一個優點是用戶友好的軟件界面,它允許根據流程要求進行可定制的設置。總體而言，SPEEDFAM DSM10.5B-5PV是一個出色的晶圓研磨、研磨和拋光系統，能夠提供精確的結果，具有高精度和穩定性。該設備具有多種用戶可調節的速度設置和自動化的安全功能,可提供可靠且經濟高效的方式來生產高質量的微細基板。