二手 SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH #9273142 待售

SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光（WGLP）設備。它可容納直徑不超過6英寸的晶圓,非常適合半導體材料應用的預加工和後處理。該系統由垂直主軸電機、兩個反向旋轉磨盤和兩個金剛石板組成，這些金剛石板根據所使用的磨料和壓板材料提供多種工藝。此外，磨盤轉速和垂直主軸電機轉速可以分別控制。為了優化WGLP工藝，水噴嘴用水潤濕砂輪和晶片表面，而真空噴嘴則吸入研磨工藝產生的灰塵，安全處置。該裝置具有可靠的作用力控制，確保過程中磨削/拋光力的穩定性。此外,高級控制機器在此過程中提供實時操作控制,如果發生任何故障,警告工具將提醒操作員。該資產具有成本效益,可提供高精度表面處理。它易於操作和維護，使其成為那些需要研磨、打圈或打磨晶片的人的理想選擇。