二手 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9223162 待售

SPEEDFAM DSM9B-5L-III是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。這一通用的生產就緒系統旨在最大限度地提高半導體、MEMS和其他微技術部件的制造精度、生產率和成本效益。該單元提供直徑可達300 mm的晶片的高精度研磨、研磨和拋光。DSM9B-5L-III配備了雙軸承伺服控制主軸，以確保磨削、研磨和拋光過程中的最大精度和可重復性。數字表面質量控制機可確保高效、一致的表面精加工。該工具具有多通道觸摸屏命令的可編程數字控制資產使用戶能夠存儲、編輯和監視流程參數,從而為各種晶圓處理應用程序提供了更大的靈活性和召回存儲參數的能力。該模型采用全封閉惰性氣體壓力控制室和安全聯鎖裝置監測，為操作員提供保護，防止產生的表面受到汙染。此外，該系統還能夠以自動化和手動模式運行，同時處理多達五個晶圓。SPEEDFAM DSM9B-5L-III有一個堅固的工具庫，能夠儲存和處理多達九種不同的磨削和拋光工具。這一單元包括各種專門的研磨和拋光漿料，以及一個快速track™除草機，以減少循環時間。此外，該工具還包含各種選項，包括消泡泵、噴嘴調度程序和無濾幹燥裝置。DSM9B-5L-III為半導體、MEMS元件、計算機芯片和其他微技術元件的經濟高效、可靠的生產提供了卓越的可靠性、精確度和可重復性。高度精確和堅固的工藝使晶片具有一致的平面光潔度,從而能夠生產形狀偏差較小的高質量元件。該資產易於操作和維護，是生產可靠、經濟高效的微電子元件的理想解決方案。