二手 SPEEDFAM DSP 18B-5P #9170546 待售

SPEEDFAM DSP 18B-5P晶片研磨、研磨和拋光設備是一種高度先進和自動化的單晶片表面調節系統,用於矽片和其他要求苛刻的表面制備材料。此單元非常適合直徑從50 mm到200 mm不等的大型晶片,並且能夠實現原子級、低邊緣粗糙度表面整理功能。DSP 18B-5P配備閉環高精度定位機，具有安裝在主軸上的石英編碼器，用於精確的微調控制。這種開環和閉環控制算法的組合允許可重復的過程，並確保高度精確和精確的拋光結果。該工具提供單面研磨和拋光（單面工作站）或雙面同時研磨和拋光（四個工作站）的選擇,並采用獨特的專利處理技術。這種全接觸研磨拋光模式為晶片表面提供均勻、恒定的壓力，導致表面飾面高度均勻，質量優越。SPEEDFAM DSP 18B-5P處理多種基材，包括單晶基材、玻璃和陶瓷。采用獨特的Delta Cu資產來精確控制工藝壓力,從而形成均勻、可重復的曲面。利用先進的真空拋光模型，DSP 18B-5P盡量減少浪費和汙染。該設備采用變速技術來微調工藝參數，並在整個工藝過程中保持精確的接觸壓力。每個處理步驟都會自動實時監控,並記錄和存儲結果以供將來參考。系統的穩健設計還包括觸摸屏界面、升級的安全功能以及一系列可進一步自動化的配件。SPEEDFAM DSP 18B-5P具有強大的觸覺設計和先進的功能,是任何需要一致、卓越拋光效果的應用程序的理想解決方案。