二手 SPEEDFAM EPX 300X #9398834 待售

SPEEDFAM EPX 300X是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為需要高性能和速度滿足其生產需求的客戶而設計。它專為大型生產運行而設計，最大工藝吞吐量高達300晶圓/小時。工藝模塊可配置4軸搭板和拋光頭。它配有專用磨料介質分發器、方法工程庫、過程監控系統和計算機接口。EPX 300X包含高級設計功能,可產生高精度的結果,並具有卓越的成本效益。機器可以精確控制工件的厚度，以及磨料介質與工件表面的摩擦。這樣可以在整個晶片上實現均勻的研磨、研磨和拋光性能。該單元還具有快速跟蹤過程和測量刀具磨損的能力,確保提高生產率和一致的結果。SPEEDFAM EPX 300X的拋光頭可由創新的旋轉/從屬邏輯控制,該邏輯可防止不需要的擺動並增強拋光模式。此外,可編程數字控制單元（DCU）允許自動啟動/停止過程、溫度控制和編程數據輸入。程序內存運行時可以存儲和傳輸到不同的平臺，並允許更輕松的數據跟蹤。為確保人員安全，EPX 300X配備了多項安全功能。它具有物理和電子聯鎖功能，以保護人員免受直接接觸危險。使用光學和電子傳感器不斷監測轉子和電動機的速度。此外，它還采用耐用、耐腐蝕的材料密封在灰塵和液體上。SPEEDFAM EPX 300X是一種頂級晶圓研磨、研磨和拋光機,旨在最大限度地提高生產速度和成本效益。其先進的特性、安全特性和創新的設計使其成為需要高精度結果和過程控制的客戶的理想選擇。