二手 SPEEDFAM G-150 #9219009 待售

SPEEDFAM G-150是一種多功能、高精度的晶圓研磨、研磨、拋光設備。設計用於加工高價值的材料如砷化氙（GaAs）基板，以及電子工業中使用的熔融二氧化矽、矽、石英和藍寶石基板，其精確的拋光能力使其成為半導體、光學和MEMS應用的理想選擇。該系統由兩個不同的單元組成：一個研磨機和一個Lapper/Polisher （LP）。磨床使用安裝在膨脹輪心軸中的金剛石磨料，從基板上去除大的表面層，產生優於0.001 mm的磨後平行公差。在高精度線性滑動單元和高平滑主軸電機的支持下,Grinder提供了一致的功率和精度。此外，磨床獨特的「波浪運動」使磨料在整個磨削過程中保持新鮮，延長了可用的車輪壽命。Lapper/Polisher專為研磨、拋光和壓扁大小晶片而設計。組件包括鋼制或鋁制桌子、一對垂直或水平研磨板和兩個研磨臂。電動研磨臂使壓板連續運動,以確保一致、均勻的研磨、拋光或研磨運動。鋼板臂精心調節金剛石磨損的流動，消除了通過和通過的問題，最終以強烈的平整性和均勻性提供了更高的表面精度。該機器能夠在GaAs和其它特殊基板上達到<1Å Ra的表面光潔度。G-150工具還具有壓力調節資產，用於精確控制研磨壓板和晶圓之間的接觸力。該模型由集中式觸摸屏界面控制,用戶可以實時監視和調整操作數據。總體而言,SPEEDFAM G-150為需要最高級別材料處理精度的應用程序提供準確、可靠和精確的結果。通過提供一致的表面平整度和均勻度，這種設備是在電子和半導體行業中使用的經濟高效的選擇。