二手 SPEEDFAM G-32BTGW #9118185 待售

ID: 9118185
Lapper / Polisher, 32".
SPEEDFAM G-32BTGW是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於在各種半導體晶圓上生產精密表面。該系統配有兩個獨立可控的研磨站,允許晶圓內外表面的自動化處理。主軸和級也提供變速控制,以最大限度地提高加工效率。該設計可實現非常低的噪聲發射和振動水平,並產生高可重復性的結果。G-32BTGW的全自動晶圓處理操作得到了強大的直流電機驅動單元和高精度步進電機的支持。它的不銹鋼結構確保了較長的使用壽命,並允許機器在清潔的房間環境中操作。將晶片牢固地夾在研磨夾具上,並緊緊地固定,以獲得一致、準確的結果。該工具還可用於在晶圓上產生打磨和拋光的表面。其CMP級采用高度剛性的三點軸承支撐設計,可減少振動,同時提高精度。包含四個主軸使資產能夠適應多軸操作。它還具有集成的拋光墊入口,可實現更好的均勻性和可重復性。SPEEDFAM G-32BTGW包括一個簡化設置和操作的直觀人機界面。用戶可以輕松地裝卸基板,監控操作進度。還提供全面的業務統計數據,從而能夠有效地開發和控制流程。還提供遠程維護和支持。為確保最大安全,G-32BTGW設計具有全面的安全功能,如防護罩、聯鎖和自動緊急關閉。該模型具有可靠的性能和有效的安全措施,是晶圓制造和包裝的理想解決方案。
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