二手 SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH #9066799 待售

ID: 9066799
優質的: 2004
Polisher Double sided with (3) motors Rotational speed: 10 ~ 60 rpm Surface plate: φ 1154 x φ 364 (Inner diameter) x 50 2004 vintage.
SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種精銳的研磨、研磨和拋光系統,旨在滿足最苛刻的半導體制造應用的需要。該單元具有16英寸(41厘米)的壓板尺寸,5毫米的不平衡孔口,3米/小時的真空臺,0.55千瓦的驅動功率,270公斤的凈重。它旨在幫助制造商實現最高的精度、表面光潔度和耐用性。該機器由一個主電平和次電平以及一個可旋轉和傾斜以提高靈活性的旋轉表組成。Primary Platen采用靜態拋光墊,壓力可調270度,而Secondary Platen采用獨立的可調拋光墊。兩款Platen都配備了重型直線軸承和機動驅動工具,用於增加扭矩和動力。旋轉和傾斜表可用於提高拋光大型和/或多個晶片時的靈活性。該資產還包括一個強大的鉆石漿料飼料和分配模式。設備配有內置的滑板,方便運輸大型晶片。JND 16B-5PV-3MH晶圓研磨、研磨和拋光系統還采用了高精度主軸電機,以改進振動阻尼和顯著提高精度。SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH晶圓研磨、研磨和拋光裝置旨在生產最小Ra為5nm的部件。最先進的真空技術使機器能夠減少泥漿中存在的氣泡數量,從而提高性能,延長壽命。該工具還可以容納各種磨料,非常適合各種研磨、拉皮和拋光應用。資產有保修和培訓計劃作為後盾,以確保最高質量和可靠性。JND 16B-5PV-3MH晶圓研磨、研磨和拋光模型具有精確的公差和強大的驅動器,是要求最苛刻的半導體制造應用的理想選擇。
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