二手 SPEEDFAM JND 9B-5P-III #9166278 待售

ID: 9166278
優質的: 1985
Double sided lapping machine SUS Plate 1985 vintage.
SPEEDFAM JND 9B-5P-III是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為客戶提供精密加工和高度可重復的產品。該系統為直徑可達5.5英寸的大中型晶片提供高精度工藝。JND 9B-5P-III采用XY軸配置,允許多軸掃描和高速單點研磨、研磨和拋光操作。SPEEDFAM JND 9B-5P-III采用單頭設計,具有多個研磨、研磨和拋光階段。所有階段都在同一個腔室中進行,對於每個晶片加工,機器使用多個研磨機、研磨機和拋光機,以確保最佳工藝結果和均勻結果。多級處理允許各種校準步驟,使晶片表面既能達到光滑的表面光潔度,又能達到平坦度。JND 9B-5P-III采用變速拋光機,使客戶能夠調整過程速度以獲得不同的過程結果。除了能夠改變工藝速度外,機器還采用多啟動研磨工藝,從而能夠更準確地發現所需的平整度和表面光潔度。SPEEDFAM JND 9B-5P-III還利用一個先進的晶圓定位單元,允許在整個過程中快速和可重復地定位晶圓。該機采用線性幻燈片進行定位,結合雙軸掃描能力,使每個晶片的加工精度一致。JND 9B-5P-III工具旨在為客戶提供高度可重復和精確的工藝,以實現所需的表面光潔度和平整度。該資產能夠處理直徑不超過5.5英寸的晶片,並且可以利用單頭或多頭配置來提供校準和工藝一致性。該模型具有可調節的拋光速度、多啟動研磨以及整個過程的精確定位,能夠提供可靠的晶圓處理結果。
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