二手 SPEEDFAM JND 9B-5P-IV #9166274 待售

SPEEDFAM JND 9B-5P-IV是為高精度半導體加工而設計的全自動晶圓研磨、研磨和拋光機。該設備提供了廣泛的能力，從研磨大晶片（直徑可達6英寸）到提供超高拋光飾面。該系統分為三個步驟，包括兩個研磨階段和一個拋光階段。在研磨階段，機器使用金剛石尖的工具在晶圓上賦予很高的表面光潔度。在拋光階段，金剛石工具換成聚氨酯膝蓋，晶圓在其中心緩緩旋轉，同時手動按住膝蓋表面。這允許非常精確和均勻的拋光過程。JND 9B-5P-IV單元由機電晶片處理單元、循環過濾單元、研磨拋光臺、漿料分配單元和計算機控制站組成。晶圓處理單元采用模塊化設計，允許一次處理兩個不同直徑的晶圓。它還有一個內置的安全功能，以防止在處理過程中晶片的破損或汙染。循環過濾裝置連續過濾用過的磨料再利用。磨削和拋光臺設有兩個獨立的電機驅動金剛石刀架。兩個持有者垂直水平可調，以容納各種尺寸的晶圓。漿料分配裝置是一種重力供給容器，向金剛石刀架供應適量的液漿。計算機控制站用於編程和監控機器的所有參數,包括晶圓尺寸和厚度、研磨和拋光時間以及表面光潔度。總體而言,SPEEDFAM JND 9B-5P-IV是一種可靠且精確的晶圓研磨、研磨和拋光機,非常適合半導體加工應用。它的模塊化設計確保了易於設置和使用，其計算機控制站使用戶能夠快速高效地對該工具進行編程和監控，以獲得最佳效果。