二手 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BTAW #9286177 待售
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SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BTAW是一種多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於生產薄晶圓和基材。該系統由用於不同外圍的研磨/螺距拋光單元、研磨(使用磨料紙片切割材料直至達到光滑表面光潔度的工藝)和金剛石研磨(研磨和拋光方法的結合)組成,用於高質量的表面光潔度,以及拋光(用於在拋光晶片上實現鏡面光潔度)。它還具有用於統一加工的集成基板支架。該裝置提供各種研磨、研磨和拋光策略,從粗磨到最精確的鏡面光潔度。晶圓研磨和研磨過程包括從晶圓中去除一層薄薄的材料。螺距板用於將機械振動運動傳遞到晶片,而磨料則用於去除材料並創建所需的表面輪廓。研磨和拋光階段由材料和金剛石拋光磨料組成的漿料完成。研磨過程遵循一系列步驟,這些步驟必須以逐漸增加的技巧重復。最後一步是拋光步驟,它將拋光表面光滑化為鏡面光潔度。SPEEDFAM 32 BTAW機被設計成能夠產生高精度和重現性的薄片。利用檢測晶圓尺寸的集成激光工具,可以實現精確的尺寸控制。此資產減少了手動流程的時間和浪費,並降低了成本。該模型是一種通用且可靠的工具,用於以較低的擁有成本研磨晶片。該機器產生一致的質量結果,同時提供精確的重復性、準確性和可靠性。適用於矽、金屬等多種材料。
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