二手 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 SPAW #9074540 待售
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SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 SPAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,可用於實現半導體晶圓的超精確加工。該系統經過專門設計,可將纖薄晶片加工到適合微電子生產的質量水平。該單元具有視覺系統、集成開發軟件和自動化測量系統等功能的高度自動化。它能夠達到高達6微米的公差和非常緊密的平坦度規格。該機器能夠加工各種不同的材料,從導電矽到陽極氧化鋁。該工具由工藝室、拋光臺、主軸和控制面板組成。加工室是裝有拋光臺的密封金屬外殼,由安裝在軸承上並由外部電機驅動的鎂合金板組成。這是為了確保光滑和一致的研磨、研磨和拋光運動。主軸是一種高精度、高速的主軸,提供拋光晶片所需的力。它由硬化鋼制成,具有獨特的雙軸承設計,具有低振動操作和非常高的主軸壽命。控制面板是對資產的所有設置進行調整的地方,它允許操作員控制速度、壓力和時間。控制面板還有一個集成開發軟件,用於監控過程、分析結果和優化不同晶圓類型的程序設置。該模型專為半導體晶片的精密加工而設計,具有無與倫比的精度和可重復性。它被設計為滿足半導體行業最嚴格的要求,能夠處理公差高達6微米、平坦度規格僅為0.5微米的晶片。其自動化和過程控制特性使其成為高端微電子器件制造的理想選擇。
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