二手 SPEEDFAM SFDL-20B-5P #9143456 待售

SPEEDFAM SFDL-20B-5P是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，專門為滿足微加工應用的需求而設計。它由五個獨立的單元組成，每個單元提供不同的研磨、研磨和拋光工藝。每個單元相互連接，並提供一個「閉環」系統，它允許用戶以高效和可重復的方式實現所需的結果。五個加工單元提供：串聯研磨；研磨；鉆石切換；型材輪磨削；以及平整拋光。串聯研磨單元可以處理高達200毫米的半導體晶片，精度為+/-0.25微米。它提供了一個多步驟，精磨工藝，其中晶圓通過兩個旋轉的砂輪不同的磨削。這一過程產生均勻、均勻的晶片表面研磨和拋光。研磨裝置使用金剛石漿料拋光晶片表面。它的工作原理是在兩個大的、平坦的、金剛石浸漬表面之間通過晶圓，使用受控的力和運動。這提供了與國際SEMI標準相匹配的具有緊密公差的均勻、高光澤的光潔度。鉆石開關單元提供單步和多步晶片處理,具體取決於用戶的需求。在單步過程中，自動從砂輪切換到金剛石拋光板。多步工藝采用了幾種工具的組合，如金剛石刀片、磨輪和拋光板，各有其用途。輪廓輪磨削單元允許用戶通過使用旋轉的輪廓磨削輪來創建精確的輪廓或孔錐邊形狀來塑造或形成晶片表面。該單元的特點是空氣軸承主軸提供高速精度和可重復性的輪廓或形式。最後，平整拋光單元提供了一種不受地下損傷的精確、快速、可重復的平整表面拋光。該裝置的工作原理是將拋光板安裝在平坦的表面上，然後向下按晶片。這將在晶片的表面上創建統一的平整光潔度。綜上所述，SFDL-20B-5P是一個高度先進和精密的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，可用於產生專業、高質量的微加工應用結果。它提供了一個「閉環」機器，確保準確，可重復的結果與每個周期。它包括五個獨立的單元，這些單元提供了一系列的加工可能性，從串聯研磨和研磨到金剛石開關和平整拋光。它非常適合那些在晶圓加工解決方案中尋求精度和質量的人。