二手 SPEEDFAM SFDL-20B-5P #9224528 待售

SPEEDFAM SFDL-20B-5P是為集成電路和半導體芯片制造商設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。這個先進的系統通過無故障的操作提供精確的控制，保證了優越的AOI、低擁有成本和快速的投資回報。該裝置采用20「或24」金剛石磨削和研磨頭的組合，能夠達到0.5 μ m以下的表面細度。根據晶圓的預期用途選擇不同尺寸的鉆石。使用磨頭中的傳感器對切割過程進行仔細監控,這有助於保持所需的表面光潔度並消除任何超出規格的異常。SFDL-20B-5P有一個自動晶片加載接口，支持從300 mm到200 mm的多個晶片尺寸。此外，機器還配備了5軸定位機構，允許晶圓表面精確微對準進行精細研磨和研磨；這樣可以最大程度地減少表面損壞的可能性,並減少達到所需精度水平所需的時間。該工具還具有防止過熱的先進冷卻技術，與優化的主軸設計和改進的晶圓支撐結構協同工作，以提高穩定性。在操作過程中,集成的接上端口提供晶片的實時表面評估。此外，除塵資產的設計符合工作場所安全和環境禮儀方面的國際標準。它采用高效過濾模型進行設計，捕獲和收集粉塵顆粒，以防止空氣汙染。SPEEDFAM SFDL-20B-5P是一種緊湊且方便用戶的設備,可安裝在限制區域內。其特點最大限度地提高了工藝速度，並允許重復性。該系統具有可靠性和準確性，為要求最苛刻的應用程序提供了最高質量的晶圓制造。