二手 SPEEDFAM SFDL-9B-5L #9223971 待售

SPEEDFAM SFDL-9B-5L晶片研磨、研磨和拋光系統是為半導體晶片和其他電子元件的高精度表面精加工而設計的自動化加工機。該機器采用雙主軸設計，可同時研磨和拋光兩個晶片。這有助於提高吞吐量並縮短處理時間。SFDL-9B-5L還配有一個五軸機械臂，能夠處理晶圓研磨、研磨和拋光過程的各個方面。這種機械臂能夠以各種角度和速度移動主軸，以確保壓力和結果的均勻性。此臂還允許操作員在多個工件上同時編程獨特的表面飾面。機器人手臂由3.7千瓦交流電動機提供動力，可以以高達50,000 RPM的速度操作其主軸。主軸本身是由先進、重量輕且耐腐蝕的材料製成，可確保更好的性能。此外,每個主軸都配有獨立的振動傳感器,以確保在操作過程中得到一致的結果。這臺機器還采用全自動拋光工藝，根據設計要求最多分五個階段進行。這包括1000粒拋光紙的精加工工藝，高精度的金剛石拋光化合物，最後是軟拋光的工藝以達到鏡面般的光澤。這樣可以確保每個晶片上均勻且高度精確的表面光潔度,且不存在任何不一致之處。SPEEDFAM SFDL-9B-5L還有一個完全集成的監視器,可顯示所有相關的操作信息,並允許用戶訪問廣泛的設置數據庫以獲得精確的結果。這包括有關研磨和拋光過程的詳細信息，如主軸速度、研磨壓力和拋光持續時間。最後,SFDL-9B-5L具有內置的安全功能,可確保系統的安全和正常運行。這包括移動檢測器、控制系統和緊急關機,在發生故障時會自動使機器脫離。這樣可以確保客戶的安全和生產的電子元件的質量永遠不會受到損害。