二手 SPEEDFAM SH-24-H #176378 待售

SPEEDFAM SH-24-H是一種具有單一集成生產線的高效晶圓研磨、研磨、拋光設備。它能夠同時處理直徑達300毫米的高精度和大直徑晶片。該系統有一個獨立的機械臂，使它能夠精確地拾取和放置各種大小的晶片在研磨，研磨和拋光的連續步驟之間。研磨過程減少了不規則性，並確保晶片表面的均勻性。先進的多軸運動單元和精密的水力彈力壓力機相結合，達到了極好的晶圓平整度和均勻的表面光潔度。該機采用專利、高精度的DP-24輪，在計算機控制下快速旋轉，完成研磨操作。車輪還配備了一個集成的振蕩裝置，可提供多達四個砂礫尺寸。磨削過程進一步完善了晶片表面的地形。SPEEDFAM定制設計的SH-24-H砂輪是專門為此設計的。車輪將研磨過程分為精密表面研磨步驟，然後是快速精磨步驟。在表面磨削過程中,數控輪對晶片施加三軸力,而柔性磨削輪同時遵循晶片的輪廓。在精磨過程中,車輪遵循相同的運動路徑,但分辨率更高,進料速率更高。拋光工藝進一步完善了晶片表面的形狀和紋理。SPEEDFAM SH-24-H采用兩種不同的拋光技術。首先，利用一個全自動的零間隙檢測站，測量晶圓的整體形狀精度，消除任何微觀毛刺。接下來，多軸機械臂對整個晶圓表面施加精確的拋光力。然後將晶片定向並凹進四個專有拋光板中的一個板中，在該板上固定一個光學透明拋光墊。這款護墊包含精確分級的機械拋光介質，與專門配制的拋光化合物結合使用，以獲得一致和受控的結果。總體而言,SH-24-H工具是一種高度通用、高性能的晶圓研磨、研磨和拋光資產,可快速輕松地滿足最嚴格的生產要求。該模型以其先進的技術，保證了晶圓精加工的高精度，保證了晶圓精加工的最高質量。