二手 SPEEDFAM SH-24 #9255915 待售
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ID: 9255915
優質的: 1996
Single head polisher, 24"
Plate diameter
Rough polishing: 609.6 mm
Final polishing: 656.0 mm
Pressure plate diameter: 228.6 mm
Polishing plate rotation speed: 6 - 36 rpm
Pressure plate drive speed: 6-36 rpm
Oscillation width: 520 mm maximum
Oscillation speed: 5 - 30 mm/sec
Pressure plate FWD/BWD stroke: 70 mm
Pressure cylinder: 100 x 120 st
Electrical / Air specifications:
Main motor: 2.5 kW, 4 P
Oscillation motor: 0.9 kW
Pressure plate drive motor: 0.2 kW, 4 P
Air pressure: 4.5 - 5.0 kg/cm²
Air supply: 22 N1/hr
Control circuit: 100 V, 1 Phase, 50/60 Hz
Main power: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz
Total: 2.52 kW
1996 vintage.
SPEEDFAM SH-24是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備,能夠高產、經濟高效地批量生產超高精度晶圓。它的設計和制造采用了最新的技術進步，以提供最先進的性能和效率。SH-24具有創新的主軸進給系統,能夠將每轉1.0 µm至160 µm之間的索引。這確保了精確和可重復的研磨和研磨結果，以確保最佳的表面光潔度和平坦度。集成的雙級伺服電動機確保了高主軸轉速的穩定性，允許各種材料的研磨和拋光。SPEEDFAM SH-24還配備了先進的研磨板裝載機，能夠快速裝卸多個研磨板，用於即時晶片制備。這大大提高了吞吐量和生產效率。此外，集成的濕式洗滌器確保了均勻和一致的液體輸送，不需要手動擦拭和清潔。此外，SH-24還配備了一個可選的視覺單元，可監控晶圓加工階段並自動調整壓力和速度，以確保最佳效果。這樣即使在難以加工的材料上也能確保均勻的表面光潔度和平整度。可選的自動基板預冷機進一步提高了SPEEDFAM SH-24的性能。這樣可以防止對細膩的基板造成潛在的熱損害,並最大限度地減少總扭曲。此外，冷卻工具還提供了良好的過程控制和均勻性。總體而言，SH-24是一種用途廣泛、經濟高效、可靠的晶圓研磨、研磨、拋光資產，專為高產、一致、精密生產超高精密晶圓而設計。憑借其先進的功能,SPEEDFAM SH-24可提供準確和可重復的結果,同時確保高吞吐量、降低運營成本和提高整體生產效率。
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