二手 SPEEDFAM SNG-32BAW #9279646 待售

SPEEDFAM SNG-32BAW是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備.它設計用來處理直徑6、8、12和16英寸的晶圓，最大容量為16英寸。其特點是采用液冷主軸來減少熱漂移和提高精度，以及采用三級主軸速度控制系統。該裝置還設計用於提供對研磨、研磨和拋光工藝的精確控制，最大限度地減少工藝變化並提高產品產量。SNG-32BAW功能包括PLC控制器和多區域環境外殼,以保持溫度穩定性。機器還配備了兩個可配置為同時研磨一個或兩個晶片的獨立主軸，並具有精確、低微切削精度的高精度卡盤單元。該機還包含高壓潤滑機，為一致的研磨壓力。研磨過程由安裝在軸承上的內部行星齒輪工具完成。該機具有高精度旋轉運動驅動資產，位移精度± 0.3 μ m。它還提供了用於研磨速度調整的三區變速旋轉運動控制模型以及在直徑6、8、12和16英寸的晶圓之間快速切換的能力。SPEEDFAM SNG-32BAW以其多區域行星變速控制設備和簡單的編程算法提供了一系列拋光選項。借助觸摸屏控制器，可以對一個有助於確保均勻拋光結果的逐步拋光序列進行編程。此外,內部和外部拋光工具可以配置不同的拋光速度和設置。SNG-32BAW還具有大型數據采集系統和數據分析單元,可用於跟蹤、分析和優化流程性能。機器還可以連接到一個可選的基於計算機的圖形處理單元（GPU），用於晶圓研磨、研磨和拋光過程的高級數據分析和監測。總而言之,SPEEDFAM SNG-32BAW是一種用途廣泛、可靠的晶圓研磨、研磨和拋光機,旨在以最小的工藝變化提供精確的結果。它包含了一個可靠的PLC控制器、變速控制工具以及數據采集和分析資產,使其成為那些希望獲得可靠、精確的晶圓研磨、研磨和拋光設備的人的理想解決方案。