二手 SPEEDFAM SNQ-32BTAW #9203851 待售

SPEEDFAM SNQ-32BTAW
ID: 9203851
Single sided polisher, 32".
SPEEDFAM SNQ-32BTAW是為先進工藝設計的綜合性晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統配備了一系列精密的特性,包括高精度研磨、研磨和拋光工藝,能夠在半導體晶片、太陽能光伏(PV)模塊和可重復結果的玻璃基板上創建精確而均勻的表面。該機基於三載荷模塊化結構,包括多軸研磨頭、自由角研磨臺和單軸拋光頭。磨頭的結構是沿著五軸路徑行進,結合了變速伺服電機控制的線性進給。這使機器在可以進行的研磨過程的範圍和數量上具有多功能性。研磨臺沿兩個圓弧運行一段定義的時間,設計為易於調節,因此用戶可以選擇每個研磨行程所需的研磨速度、角度和方向。該表還包含變速、伺服電機控制的研磨臂和主軸,以確保重復和一致的研磨性能。該單元的最後一級是單軸拋光頭,結構為沿垂直軸以可變速度旋轉,在X、Y和Z方向上最多有六個自由度。這使操作員能夠精確控制拋光過程,使他們能夠準確地改變每個應用程序的工作表面參數。本機采用空調防塵外殼,結構堅固,適用於工業應用。此外,SNQ-32BTAW還配備了智能控制功能,包括傳感器,以監測溫度和施加的力等參數,從而提高精度和工藝優化。總體而言,SPEEDFAM SNQ-32BTAW是在生產線和研究環境中進行研磨、研磨和拋光的有效工具。其精密的結構、智能的控制特性和模塊化設計有助於確保具有精確的表面參數和高通量的可重復、準確的結果。
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