二手 SPEEDFAM SP 1200 #9259369 待售

SPEEDFAM SP 1200是一種自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。這種多用途單元是為精確和可重復晶片處理而設計的。除了研磨和拋光基板外，該機還可用於精細晶片研磨，可選擇旋轉晶片正面和背面的研磨板。該系統設計用於處理最大的晶片（最大500毫米）,從而實現高吞吐量和靈活性。SPEEDFAM SP-1200有一個工作室，尺寸為600x750 x 525mm（l x w x h）。內部高度可定制為380至475mm,用於晶圓厚度和晶圓研磨。工作室的內部壓力由兩級除塵器維持，確保晶片在整個過程中不受汙染。自動化過程由一個機械臂提供動力，該機械臂配有一個終端效應裝置，該裝置操作一個研磨、研磨和拋光（GLP）模塊，其中包括真空卡盤、金剛石漿液杯和旋轉板。旋轉板以300-1500 rpm的轉速轉動,從而能夠精確控制研磨或拋光過程的速度。GLP模塊還配備了診斷機器，用於監控空氣供應、泵壓、研磨力和速度、腔室內相對濕度以及基板尺寸和壓力等參數。這樣可以確保工具在最佳級別運行。該單元包括一個加載和卸載功能，方便晶圓處理，並具有最多存儲50個晶圓程序的能力。它還配備了直觀的用戶界面，允許在操作過程中輕松監控和控制資產。SP 1200旨在確保可靠和一致的晶圓處理。與手動流程相比,其可靠可靠的模型提供了許多優勢,包括更快的完成時間、精確且可重復的結果、最小汙染風險以及改進的流程控制和性能。