二手 SPEEDFAM SP 800 #143296 待售

SPEEDFAM SP 800是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於先進半導體晶圓的可重復、高精度處理。它包括一個臺式主軸工作頭與集成空氣軸承支撐，可調節和可配置的拋光階段，和全自動追蹤。該系統采用具有空氣軸承的高扭矩、低速主軸,以確保晶圓的操控和精確定位,以及可調節和可配置的拋光級,以進行有效的拋光操作。該裝置的一個關鍵特點是它能夠通過監測負載和保持過程的穩定和一致來精確控制磨削和拋光過程。全自動可追蹤性機器提供了拋光過程的準確記錄，包括研磨和拋光參數、錯誤恢復歷史和歷史趨勢。這有助於最大限度地減少缺陷引起的報廢和返工。它還提供了一個直觀的圖形HMI集成過程控制參數和警報管理。還提供了各種各樣的配件，使用戶可以自定義該工具，並將其配置用於不同的拋光應用。總體而言，SP 800是先進半導體晶圓材料可重復、高精度加工的理想選擇。