二手 SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA #9386560 待售

SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統,設計用於高性能電子和MEMS應用的薄膜材料精密精加工。它具有自動化的全尺寸48 「x 48」工作平臺、全尺寸陶瓷心軸和可調、可編程的速度控制。SP-GYR-48PNLCCA包括一個閉環控制器,以保持精確的過程條件,並提供特定於應用程序的地形控制、可調節的回轉速度、力、水位和SPITFIRE Spin Process™技術,以實現卓越的表面光潔度。它能夠進行單軸和多軸研磨/研磨操作。SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA配備了自動化、計算機控制的研磨/研磨頭,可提供高度重復的精加工過程。機頭連接到強大的高扭矩電動機,可提供精確的研磨/研磨動作,以確保均勻的光潔度。馬達也被不銹鋼外殼包裹，以保護它免受灰塵和碎屑。先進的SP-GYR-48PNLCCA工藝控制系統使其成為薄膜拋光的理想選擇。這是通過使用高級軟件進行過程控制和優化而實現的，這使得實現均勻的表面光潔度變得容易。該軟件還使用戶能夠定義工藝參數並自定義磨削和拋光操作以滿足特定要求。SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA適用於晶圓薄膜拋光、MEMS器件制造、倒角、鏡面精加工和絕緣子上矽晶圓預處理等廣泛的晶圓加工應用。它是精加工薄膜材料時要求高精度、精確度的用戶的理想選擇。該系統配有一系列消耗品和附件,符合CE標準。