二手 SPM Y-09065A #9153429 待售

SPM Y-09065A是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為高級微電子器件的制造和/或包裝等拋光應用提供解決方案。該系統配備了多種安靜、高性能的電動機，能夠對晶圓表面進行精確、高效的研磨、研磨和拋光。它能夠容納直徑不超過200毫米的晶片,並且具有自動索引功能,能夠對單個晶片進行連續研磨、研磨和拋光。Y-09065A研磨輪、磨料帶和拋光墊結合使用。它配有兩個高扭矩主軸,每分鐘轉速從0轉到126轉,在TSV和基板空隙等高縱橫比應用中提供高達0.12 μ m RMS的微調表面光潔度。該裝置利用先進的運動控制和視覺技術，確保研磨和拋光冰球相對於晶圓表面的精確定位。運動拋光頭塊的使用進一步提供了穩定性和精確的表面控制，同時實現了表面光潔度。空氣承載技術使SPM Y-09065A能夠使用單個電動機驅動所有過程，同時提供卓越的隔振和低功耗。其無振動操作使其實現了優越的表面輪廓、平整度和超光滑的飾面。該機器包括一個靜水潤滑工具，通過減少摩擦和磨損以及消除與潤滑有關的維護成本，增加主軸電機和模具的壽命。Y-09065A能夠生產高質量的飾面,具有出色的可重復性,只需競爭系統成本的一小部分。其經濟高效的設計消除了對附加附件的需求,使其成為高吞吐量和節省成本的應用程序的理想選擇。該資產與各種研磨、研磨和拋光材料兼容，可以定制以滿足各種應用需求。