二手 STAEHLI 1500 #9212916 待售

STAEHLI 1500是一種最先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於復雜的MEMS（微機電系統）生產過程。該系統采用高精度直線電機驅動，具有優異的運動控制和過程穩定性。與傳統的研磨系統相比，該設備的設計提供了更高的精度和更高的吞吐量，其直觀的用戶界面和直觀的觸摸屏使編程過程變得容易。機器可以配置各種流程頭配置和自動化流程控制，以最大限度地提高生產率和可重復性。1500采用計算機控制的伺服驅動線性驅動器,可驅動拋光和磨頭,從而實現全方位的精確行駛。該工具可用於各種研磨、拋光和研磨操作。這些精密工藝可以在平面和圓柱形區域的各種速度範圍內實現。資產提供了擴展的可編程研磨參數,包括速度、深度、通過次數和暴跌速率。模塊化的頭部配置可以容納直徑從18到150 mm不等的研磨/拋光墊。STAEHLI 1500還提供高精度的電子定位測量系統，可納入過程控制模型，以監測過程並輔助精密輪廓研磨。1500是一種多合一設備,可放置在多種生產環境中,並用於多種MEMS組件。該系統具有可靠、精確的機芯，能夠實現最高的精度和最高的可重復性，產生一致、可靠的晶圓研磨、研磨和拋光效果。該單元還非常適合研發和生產相關的工藝開發。STAEHLI 1500具有直觀的用戶界面和易於編程的過程參數，是任何MEMS組件處理應用的理想選擇。