二手 STAEHLI FLM 1000 #9212914 待售

STAEHLI FLM 1000是一種自動化的高精度晶圓研磨、研磨拋光設備。該系統適用於先進材料的生產，如光學質量玻璃、光纖、玻璃、金屬、陶瓷和晶片。它提供了靈活性、準確性、速度和吞吐量的組合。FLM 1000是一個雙軸機器人單元，配備了最新的安全功能和智能自動化能力。它設計用於處理要求苛刻的研磨和拋光操作，具有精確和可重復性。該機器包括兩個完全可編程的運動軸，以及一個21英寸的行程範圍，能夠同時處理多達兩個晶圓。除了單個主軸之外，該工具還提供了可選的雙主軸，提供了同時處理兩個晶片的能力。STAEHLI FLM 1000可以進行廣泛的研磨和拋光工藝，從粗磨、精細拋光和邊緣磨削，到多種表面飾面，如鏡面飾面、超精細飾面、四分之一切割飾面，甚至是下表面飾面。該資產采用減振模型，可最大程度地減少晶圓失真，並集成精細運動控制和專用機器人晶圓處理，為實現機械性能提供精確的機械和化學調節。該設備配備了先進的控制器，包括帶有數據反饋和傳感器的自動過程，以及用於精確同步兩個運動軸的獨特運動輪廓特征。它還提供高級可視化和數據采集選項。FLM 1000由具有高扭矩驅動的無刷電動機提供動力，以最小的噪音和振動提供卓越的性能，並且可以運行長達一個完整的8000小時的班次。該系統是為經濟運行而設計的，利用開環單元體系結構來降低運營成本，同時保持高水平的過程準確性。STAEHLI FLM 1000專為高端生產應用量身定制，提供優越的刀具壽命和對研磨拋光參數的精確控制。此外,該機還具有多種工藝選項和易於維護的功能。