二手 STRASBAUGH 6DE-1 #135707 待售

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ID: 135707
晶圓大小: 12"
優質的: 1982
Overarm polishing machine, 12" Wafer polishing single table: (3)x2", (3)x3", 4", 5" Multiple small wax-blocked wafer R&D Polishing Stainless steel precision, 12" Lapped flat CMP platen (Pad process table) Mounted with adaptor hub 1982 vintage.
STRASBAUGH 6DE-1是為研磨、研磨和拋光(GL&P)應用而設計的多功能工藝設備。該系統適用於生產和研發實驗室,能夠處理從4英寸或100毫米到6英寸或150毫米的各種基板。6DE-1單元還增加了可互換的模塊化底座和卡盤,以便為一系列GL&P過程安裝額外的附件。機器還可以與計算機進行實時過程控制、連續監控和數據收集。STRASBAUGH 6DE-1有四個用於晶圓運動的驅動電動機:一個用於拋光的直流無刷扭矩電動機,一個用於晶圓自動運動的無刷線性伺服,一個用於調整晶圓位置的雙軸定向電動機,以及一個用於研磨的強大交流電動機。該工具還具有氣動卡盤、可調節的研磨板和可選的下壓力控制。6DE-1還配備了多種標準配件以及定制配件,這些配件允許流程變化和更大的靈活性。這些配件包括支架、墊片、板材、水射流和模具元件。此資產易於操作和維護。由於用戶友好的界面、較低的運營電力成本和最小的清潔需要,運營成本得以最小化。它還具有經濟上的優勢,因為它包括了額外的附件,如板材,氣動卡盤,和下壓力控制。STRASBAUGH 6DE-1功能多樣,擁有成本低,非常適合各種生產和研發用途。它可以幫助提高產量、過程可重復性、成本控制和環境合規性。它的模塊化模型和可定制的平臺使它能夠滿足客戶的需求。這種設備速度快、效果好,其用於拋光的直流無刷扭矩電動機即使是最困難的材料也能產生平坦、光滑的表面。最後,其強大的交流電動機優化研磨操作,並確保一致的表面光潔度.通過6DE-1,用戶可以在不犧牲質量的情況下實現吞吐量的提高。
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