二手 STRASBAUGH 6DE-1 #9256748 待售

STRASBAUGH 6DE-1是一種晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體晶片和其他相關基板的精密材料去除和改進表面平滑度。該系統采用高精度、可編程的6軸運動控制單元，為磨削、研磨、拋光工藝提供優於傳統機械磨床的控制水平。6DE-1的心臟位於其六個CNC伺服控制軸,這些軸提供了光滑、可重復和傾斜的研磨/研磨/拋光工藝。磨削/研磨階段的主要組成部分是可編程的高精度數控伺服控制機器人臂，該臂精確控制拋光過程的運動，以達到理想的效果。機器人臂安裝在支撐臂上，提供水平和垂直調節能力，而拋光頭安裝在丙烯酸對峙上，允許拋光操作時更精確的位置。該機還采用了金剛石浸漬壓板提供優越的拋光效果。這種壓板由四個交流感應電動機驅動，這些電動機是專門為使用的磨料類型設計的。壓板固定在軌道工具上，使壓板能夠以可變的速度從緩慢和高度控制的運動移動到高速表面拋光。為確保達到所需的表面光潔度,還可以改變壓板速度和拋光壓力。STRASBAUGH 6DE-1設計用於自動清潔室操作,有助於最大程度地減少基板受到汙染的影響。該資產配備了許多功能以防止汙染,例如閉環過濾模型、控制和監控過程溫度的能力以及自動檢測和關閉過程異常。6DE-1是晶圓研磨、研磨和拋光的精確、可靠和可重復的設備。它旨在為高精度材料去除和改善半導體晶片及其他相關基板的表面平滑度提供經濟高效的解決方案。STRASBAUGH 6DE-1具有可編程的6軸運動控制系統、金剛石浸漬板以及眾多的安全和汙染特性,是專門為精密晶圓加工而設計的設備。