二手 STRASBAUGH 6DE-DC-1 #293807565 待售
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ID: 293807565
Polishers
DC Drive
Platten, 6"
(2) 1/2 HP Motors
Spindle load: 1720 lbs
Spindle torque: 150 lbs
Eccentric motion, 8"
Oscillating arm, 3"
Oscillating speed: 10 to 200 RPM
Digital timer for polishing cycles, 150 RPM
Power supply: 220 V, Single phase, 50/60 Hz.
STRASBAUGH 6DE-DC-1是一種先進的全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在實現所有類型半導體材料的高精度和優越的表面質量。STRASBAUGH 6DE-DC1系統采用6英寸圓形平臺設計,可容納任何類型的材料,從極薄(<100微米)到厚度高達1.5mm的較厚晶片。它包括一種工業級步進電機,可確保研磨臂的精確和可重復運動。一個可移動的研磨板也與單元集成,允許快速和容易拋光/研磨的超薄晶片。6DE-DC-1由高性能直驅電動機提供動力,可實現卓越的速度和可靠的精度。此外,數字真空控制功能有助於防止樣品粘附,而冷卻風扇可確保精確的溫度控制,從而獲得一致的結果。6DE-DC1還包括各種可定制的操作和控制參數,以滿足獨特的處理需求。這包括可調整的自動停止功能,以控制拋光時間和壓力設置。該機還配備了獲得專利的表面計量校準工具以及先進的PLC工具,以提供準確的實時反饋和過程報告。在安全方面,STRASBAUGH 6DE-DC-1配備了多種防護措施,包括保護操作員免受潛在危害的屏蔽,以及在發生危險時立即關閉資產的運動傳感器。它還包括一個空氣過濾器,可以捕獲和清除潛在的危險顆粒。STRASBAUGH 6DE-DC1晶圓研磨、研磨和拋光模型是一種創新的、可靠的半導體材料加工工具。其堅固的設計和高精度的特性使晶片能夠快速、精確地處理厚度不超過1.5毫米的晶片,從而確保了出色的表面質量和可重復的性能。6DE-DC-1設備具有一套集成的安全預防措施,是掌握晶圓處理要求的完美工具。
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