二手 STRASBAUGH 6DE-DC-4 #9233423 待售
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STRASBAUGH 6DE-DC-4是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,適用於10至200毫米晶圓加工。該系統采用了最新的磨料技術,瞄準單點金剛石磨輪和研磨板。該單元建立在一個6自由度(6DOF)平臺上,提供了處理任何任務的靈活性,從簡單的研磨到更復雜的研磨和拋光操作。6DE-DC-4使用計算機數控(CNC)定位和精細控制來提供高精度。磨料盤使用執行器繞晶片移動,其中一系列戰略性地放置的噴嘴控制磨料流體的壓力和流動。STRASBAUGH 6DE-DC-4還集成了高級檢查功能。采用線型攝像機,采用抓幀技術,能夠準確檢測晶片表面,確定任何處理誤差。然後可以使用過程數據來優化處理參數,確保一致且可重復的結果。機器可以同時處理單層和多層晶片,使用獨特的雙層方法,允許在兩個階段進行處理,具有不同的磨料流體強度。這樣可以確保每一層都磨碎並拋光到相同的水平。6DE-DC-4能夠達到極高的表面光潔度和平坦度,也能夠加工厚晶片。用於生產矽和復合半導體材料,容易融入現有生產線。STRASBAUGH 6DE-DC-4具有較高的吞吐量,可提供出色的過程靈活性和控制能力。這使得它成為任何需要高精度、高吞吐量和效率的操作的理想選擇。
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