二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293594671 待售

STRASBAUGH 6DS-SP
ID: 293594671
CMP Polisher.
STRASBAUGH 6DS-SP是一流的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為高精度和吞吐量而設計。該系統可提供最大的吞吐量和精確度,提供高達400毫米矽、III-V和復合半導體晶片的研磨、研磨和拋光,表面光潔度高達20微米。該單元可以進行磨削、研磨和拋光的單次或多次操作,包括相對粗加工和精加工操作。它具有三軸運動控制和具有自動和手動操作模式的晶圓載荷/卸載表,以及獨立的零件機器人排序功能。該機適用於各種操作-從研磨和研磨到拋光和後研磨,包括精密和高通量工藝。也可用於晶片切片、線鋸、通孔鉆孔和高速切塊。利用多軸補償的三軸高性能垂直機軸,實現精度和可重復性。其各自的進給速度和方向,加上模塊化調整參數,使得它適合所有的工藝步驟。由直接步進電機驅動的精密線性滑軌用於所有三個軸,以提高精度和表面光潔度。該工具還利用數字控制和CANbus控制的組件以及以太網連接實現遠程集成。其高精度的空氣軸承是為低振動和優越的「滑移」特性而設計的,為極高精度和超低晶圓偏轉而設計。高度自動化的資產使用半自動加載/卸載系統來降低周期時間,並消除人為錯誤的可能性。該模型還包括一個圖形化的工具路徑編輯器,它允許用戶快速而輕松地創建各種各樣的復雜形狀、曲線、線條和錐形特征。此外,其閉環控制旨在自動調整磨削周期以適應每個工藝條件,以保持盡可能高的精度和表面光潔度。STRASBAUGH 6 DS-SP能夠為各種行業提供服務,從航空航天和汽車到消費電子,為晶圓研磨、研磨和拋光提供經濟高效、可靠和高效的解決方案。除了用戶友好而且提供卓越的準確性、可重復性和速度外,這些設備還提供了更快的投資回報和最大的吞吐量。
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