二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293594673 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於半導體工業。能夠生產具有優良表面質量的高精度介電和金屬基晶片。該系統利用精密的砂輪和皮帶來降低表面粗糙度，提高材料去除率，創造非常光滑的表面。晶圓磨削采用金剛石塗層砂輪和皮帶。此組合可提供卓越的長期磨料性能和靈活性,從而實現更高效和一致的研磨。采用受控研磨工藝進一步改善表面表征，制備晶片進行拋光。這樣可以確保整個晶片表面均勻研磨和拋光。STRASBAUGH 6 DS-SP晶圓研磨單元配備了先進的自動化和編程配方控制，使其能夠在最低限度的用戶幹預下操作。其控制軟件旨在提供易於使用、直觀且功能強大的界面。本文采用精密視覺儀來檢測每個晶片的表面，並監測材料的設置參數、去除率以及研磨和拋光的均勻性。這確保了高質量的晶片輸出,而與批量大小無關。6DS-SP基於經過驗證的STRASBAUGH 6DFTM平臺,與最新的半導體級金屬、合金和介電材料兼容。它具有先進的物料處理功能,並為可重復和可重復的結果提供最大的可靠性。該工具專為處理1至30英寸晶圓的大批量生產運行而設計，這些晶圓具有薄層金屬材料和介電基板。6 DS-SP還提供高精度的自動化晶片過程控制和環境控制,從而可以完全控制結果的質量。它提供了廣泛的高級控件，如工藝參數優化和晶圓歷史跟蹤，這有助於降低風險和消除處理錯誤。資產的設計考慮到質量保證，並結合了關鍵的質量控制工具，如應力映射、統計過程控制和故障分析。當與6DFTM結合使用時，STRASBAUGH 6DS-SP是精密晶圓加工的強大模型。它能夠滿足高可靠性晶圓產品苛刻的生命周期要求,非常適合過程開發和生產運行。