二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293597853 待售

STRASBAUGH 6DS-SP
ID: 293597853
CMP Polisher.
STRASBAUGH 6DS-SP是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統旨在創建納米級的曲面,這些曲面是許多高科技行業的關鍵組成部分。STRASBAUGH 6 DS-SP單元非常適合生產用於半導體制造的拋光矽晶片。6DS-SP機采用不銹鋼、基座安裝平臺和高精度線性運動及手輪設計,確保晶圓表面光滑且無缺陷。磨削單元采用雙板設計,聚合物混凝土結構,6英寸的板載能力。研磨拋光單元由分段、真空卡盤、五軸飾邊和兩軸可配置壓板組成。該工具還包括兩個獨立的晶片托盤和一個晶片輸送帶,這有助於加載、研磨、研磨和拋光操作。6 DS-SP資產具有顯微塗層、交叉研磨、次研磨、表面研磨和缺陷平整的能力。此外,該模型還可以在半導體和光電器件的晶片上產生納米級的超平整表面。設備的閉環伺服控制技術確保了精度、重復性和可靠性。該系統還具有邊緣保護、物理防護、潤滑控制、緊急停止等多項安全技術增強功能。STRASBAUGH 6DS-SP單元的用戶還可以通過編程和控制機器參數實現整個過程的自動化,並啟用並發過程操作。該工具配備了觸摸屏界面,允許用戶輸入自定義信息,以及存儲和/或共享數據日誌和統計過程控制(SPC)圖表。STRASBAUGH 6 DS-SP的設計符合晶圓研磨、研磨和拋光工藝的最高質量和生產標準。憑借其創新的設計、閉環伺服控制、安全特性、自動化潛力和觸摸屏界面,用戶可以獲得最高水平的準確性、可重復性和可靠性。
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