二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293709492 待售
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ID: 293709492
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 1994
Polisher, 4"-8"
CMP System
(2) Tables (Primary and secondary)
(2) Slurry dispenses
High pressure table rinse bar
VIPRR Carriers
Zone back pressure
Hydrolift load station
1994 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於多種材料,如氧化的、SiC、GaN和Si基化合物。它專為加工更高精度的晶片而設計,並改進了表面飾面,從而實現了更高效的研磨和拋光工藝。系統通過接收晶片輸入並將其放置在加載站上來工作。操作員然後選擇所需的研磨、研磨和拋光過程。然後將晶片輸送到研磨部分,在那裏由懸浮在研磨室內流體中的研磨顆粒進行研磨。此過程將材料從晶片表面移除,從而可以進行拋光操作。然後將晶片輸送到研磨部分,在那裏使用研磨材料和特殊研磨流體進行研磨。這個過程使晶片表面平滑和拋光,從而產生更均勻的表面光潔度。最後,將晶片放入拋光站,進行四種初級拋光技術。首先,晶片經過表面調節,消除晶片表面的劃痕和瑕疵。其次,晶片經過化學機械拋光工藝,利用化學磨料有助於進一步光滑和細化表面。第三,晶片經過電拋光工藝,進一步細化晶片表面。最後,晶片經過亞微米拋光工藝,其設計目的是產生比以前工藝更小晶粒尺寸的表面光潔度。歸根結底,STRASBAUGH 6 DS-SP單元是一種高精度晶圓研磨、研磨、拋光機,有助於生產表面光潔度提高的晶圓,大大減少加工過程中需要去除的材料量。
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